戚树明

作品数：2被引量：6H指数：1
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供职机构：山东师范大学物理与电子科学学院更多>>
发文主题：HGCDTE半导体材料SI准分子激光激光辐照更多>>
发文领域：电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊：《激光杂志》《量子光学学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金山东省自然科学基金更多>>
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准分子激光辐照HgCdTe半导体材料的损伤机理研究被引量：6
《量子光学学报》2009年第1期76-83,共8页戚树明 陈传松 周新玲 郭娟 王娟 满宝元 
国家自然科学基金(10474059)
利用光学显微镜和扫描电子显微镜对248 nm准分子脉冲强激光辐照的HgCdTe晶片表面进行了观察,观察到一些与红外波段内激光辐照HgCdTe晶片时大不相同的实验现象。研究表明,红外波段内1 064nm激光辐照HgCdTe半导体材料的损伤机制主要为光...
关键词：248 nm准分子激光 损伤机理 表面周期性条纹 HGCDTE 
准分子激光对半导体材料HgCdTe和Si的损伤实验研究被引量：1
《激光杂志》2008年第6期72-74,共3页戚树明 陈传松 郭娟 周新玲 王娟 满宝元 
国家自然科学基金(10474059);山东省自然科学基金(Y2007A05)资助
本文利用光学显微镜和扫描电镜对248nm准分子强激光辐照HgCdTe和Si晶片的表面损伤形貌和损伤过程进行了对比分析,结果表明在248nm准分子激光作用下,HgCdTe材料主要表现为解离剥蚀破坏和熔融烧蚀破坏,准分子激光对其损伤机理既包含光化...
关键词：248nm准分子激光 损伤机理 光化学作用 光热作用 
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