戴斌

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供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：空间电荷区电极纳米衬底场效应晶体管更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊：《传感器与微系统》更多>>
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纳米梁的金硅原电池腐蚀和无损释放技术研究
《传感器与微系统》2011年第2期5-7,10,共4页戴斌 杨恒 陆松涛 
采用金电极的硅纳米梁在通过HF湿法腐蚀S iO2牺牲层释放结构的时候会发生硅纳米梁被腐蚀现象,消除此效应对于纳米尺度梁制造非常重要。通过电化学工作站测量不同条件下金/硅在HF中的极化曲线和腐蚀电流,从定性和定量研究此腐蚀的原理和...
关键词：氢氟酸 原电池腐蚀 HF蒸气腐蚀 纳米梁 
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