房永思

作品数：1被引量：6H指数：1
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供职机构：电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室更多>>
发文主题：残余应力薄膜应力薛定谔方程物理气相沉积原子云更多>>
发文领域：一般工业技术理学更多>>
发文期刊：《功能材料》更多>>
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物理气相沉积薄膜应力产生机理的理论分析被引量：6
《功能材料》2006年第12期1959-1961,共3页房永思 唐武 翁小龙 邓龙江 徐可为 
国家重点基础研究发展计划(973计划)资助项目(2004CB619302)
在一维线性谐振子模型基础上,应用薛定谔方程分析了晶体中原子的概率分布;将晶体中原子的概率分布定义为原子云,解释了物理气相沉积法制备薄膜时残余应力产生的原因,建立了薄膜残余应力产生机理的理论模型。
关键词：薛定谔方程 原子云 薄膜 残余应力 
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