王雅琴

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：电子科技大学更多>>
发文主题：ITO薄膜ITO光学性能微结构电阻率更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程经济管理电子电信更多>>
发文期刊：《稀有金属材料与工程》更多>>
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低温沉积ITO薄膜划擦行为、微结构、电学和光学性能的研究（英文）被引量：3
《稀有金属材料与工程》2015年第11期2683-2687,共5页唐武 王雅琴 刘结 张兰 
National Natural Science Foundation of China(51071038);Sichuan Province Science Foundation for Youths(2010JQ0002);State Key Laboratory for Mechanical Behavior of Materials;Xi’an Jiaotong University(20131309)
通过RF磁控溅射技术制备不同溅射气压下的ITO薄膜,对其电阻率、光学透过率、XRD图、AFM图和划擦行为进行了研究。薄膜和基板的附着力通过划擦测试进行表征,重点研究了薄膜划擦测试的不同阶段的特征。研究表明随着Ar溅射气压的下降,薄膜...
关键词：ITO 划擦测试 电阻率 
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