程银华

作品数：1被引量：8H指数：1
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供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：铂合金钯薄层聚酰亚胺英文更多>>
发文领域：理学一般工业技术医药卫生更多>>
发文期刊：《无机化学学报》更多>>
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催化增强化学蒸气沉积法在聚酰亚胺上沉积钯-铂合金薄层(英文)被引量：8
《无机化学学报》2006年第5期789-794,共6页俞开潮 Yousef Hamadan 程银华 周锦兰 李正佳 于澍燕 焦庆 
国家自然科学基金(No.20275011);武汉光电国家实验室基金资助项目
以N2,O2作载气,通过催化增强化学蒸气沉积(CECVD)分别制得在聚酰亚胺上的金属铂、钯及其合金薄层。铂、钯配合物的共同沉积可生成Pt-Pd合金薄膜。在Pd-Pt合金的沉积过程中,Pd/Pt的原子数比率随共同沉积的条件改变而变化。O2为载气、300...
关键词：催化增强化学蒸气沉积 聚酰亚胺 钯-铂合金 
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