邝文钊

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电致发光器件衬底透镜微结构纳米热压印制备的研究
《兵器材料科学与工程》2013年第5期52-55,共4页李阳 徐维 王忆 朱铭佳 邝文钊 
广东省自然科学基金(S2011040005742;10452902001005900);广东省科技创新基金项目(2012KJCX0100);中国博士后基金(20090461297);江门市科技计划基金项目(2011010049758)
采用纳米压印技术在OLED器件衬底上制备可传递三维立体透镜微结构,可有效减小波导、增加出光耦合,从而有望增加器件出光效率。采用紫外曝光与湿法腐蚀技术相结合的方法来制备高精度的石英玻璃纳米压印模板,对模板进行清洗与抗黏连处理...
关键词:OLED衬底 微结构 纳米热压印 
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