陈勇忠

作品数：1被引量：2H指数：1
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发文主题：AES铝氮氮离子注入离子注入更多>>
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氮离子注入铝的结构研究被引量：2
《核技术》2003年第4期295-298,共4页陈勇忠 武胜 沈丽如 
中国工程物理研究院科学技术资金(20020868)资助项目
采用掠射X射线衍射和AES方法分析了氮离子注入铝的结构和成分,采用TRIM?8程序对注入过程中氮浓度随深度的分布进行了模拟。结果表明:当温度低于300℃,能量为60 keV,用71017 /cm2和1?018 /cm2注量的氮离子注入铝时,在铝的表面生成了六方...
关键词：氮 离子注入 铝 微观结构 掠射X射线衍射 AES 氮化铝表面层 
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