陈栋

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：电子科技大学更多>>
发文主题：单轴主减速器总成主减速器汽车后桥同轴度更多>>
发文领域：自动化与计算机技术机械工程交通运输工程电子电信更多>>
发文期刊：《半导体技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
基于SOI技术的MEMS超声分离器制备方法研究
《半导体技术》2010年第12期1145-1148,1173,共5页肖含立 丁杰雄 华晨辉 陈栋 王宇翔 
国家自然科学基金资助项目(50675031)
基于简正模式的MEMS超声分离器对分离腔的侧壁垂直度、深度均匀性以及表面平整度等要求较高,结合IC工艺重点探讨、研究了超声分离器腔体制作方法。提出将SOI(silicon on insulator)片作为刻蚀基底,采用等离子体干法刻蚀、硅/玻璃键合以...
关键词：干法刻蚀 SOI片 MEMS超声分离器 侧壁垂直度 IC工艺 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部