何祖斌

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：中国工程物理研究院更多>>
发文主题：振动误差分析光学测量移相干涉仪抗振技术更多>>
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移相干涉仪的抗振技术研究进展被引量：3
《光学技术》2007年第3期416-419,共4页何祖斌 许乔 柴立群 邓燕 
在对光学元件面形进行检测和光学系统成像质量的评价中,移相干涉测量技术有着广泛地应用。但是,光学干涉仪的测量精度对环境的要求非常苛刻,环境的振动和空气的扰动会对测量结果产生很大影响。提高移相干涉仪的抗振性很有必要,受到广泛...
关键词：光学测量 振动 移相干涉仪 抗振技术 
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