周毅

作品数：2被引量：35H指数：2
导出分析报告
供职机构：中国科学院宁波材料技术与工程研究所宁波材料技术与工程研究所更多>>
发文主题：类金刚石薄膜厚度光学常数类金刚石光度法更多>>
发文领域：理学一般工业技术电气工程金属学及工艺更多>>
发文期刊：《光学学报》《物理学报》更多>>
所获基金：宁波市自然科学基金浙江省科技计划项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
多样品法确定类金刚石薄膜的光学常数与厚度被引量：12
《光学学报》2010年第8期2467-2472,共6页周毅 汪爱英 
浙江省科技计划(2008C21055);宁波市自然科学基金(2008A610054)资助课题
采用乙烷气体辉光放电法在单晶Si衬底上制备了名义厚度分别为75,150和250nm的类金刚石碳(DLC)薄膜,除沉积时间外其他工艺参数完全一致。使用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)测量了380～1700nm波段的椭偏谱。该研究发现,对单一DLC样品的椭...
关键词：薄膜光学 多样品分析 光谱型椭偏仪 光学常数 类金刚石 
椭偏与光度法联用精确测定吸收薄膜的光学常数与厚度被引量：25
《物理学报》2010年第4期2356-2363,共8页周毅 吴国松 代伟 李洪波 汪爱英 
宁波市自然科学基金(批准号:2008A610054)资助的课题~~
介绍了一种同时利用椭偏仪和分光光度计精确测量薄膜光学常数的方法,并详细比较了该方法与使用单一椭偏仪拟合结果的可靠性.采用可变入射角光谱型椭偏仪(VASE)表征了250—1700nm波段辉光放电法沉积的类金刚石薄膜,研究发现当仅用椭偏参...
关键词：光学常数 光谱型椭偏仪 吸收薄膜 透射率 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部