孙晓峰

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：电子科技大学微电子与固体电子学院更多>>
发文主题：BST快速退火晶相晶化过程晶化更多>>
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钛酸锶钡(BST)薄膜晶化过程研究被引量：1
《材料导报》2004年第10期82-84,共3页孙晓峰 姜斌 蒋书文 张鹰 王恩信 李燕 黄文 
国家973项目资助(51310z03)
采用射频磁控溅射(RF-magnetron sputting)法制备了钛酸锶钡(BST)薄膜,用快速热处理(RTA)和常规热处理(CFA)对薄膜进行晶化。利用AFM、XRD等技术分析了钛酸锶钡薄膜的晶化过程,以及不同退火温度和退火方法下薄膜的晶粒、晶相特性。实验...
关键词：晶化过程 结晶 钛酸锶钡薄膜 晶相 择优取向 制备 研究 BST 快速退火 快速热处理 
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