寿焕根

作品数：2被引量：1H指数：1
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离子束引起的在Al/Cr双层薄膜界面处的原子混合
《原子与分子物理学报》1991年第4期2006-2011,共6页吴美珍 刘惠珍 寿焕根 侯明东 
全国自然科学基金资助项目
用600keV的Kr^+离子轰击Al/Cr双层薄膜样品进行界面原子反应及相互混合的研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝膜,相继再蒸上所需厚度的铬膜而制成的。轰击剂量为2.0×10^(15)-2.5×10^(16)Kr^+/cm^2。用2.0MeVa粒子对轰击前后...
关键词：离子束 薄膜 Al/Cr 原子 混合 界面 
在Ti:Al薄膜中的离子束混合研究被引量：1
《核技术》1990年第4期198-202,共5页吴美珍 寿焕根 王树芬 侯明东 金运范 
全国自然科学基金
用100keVAr^+离子在低温下对TI:Al薄膜进行了离子束混合研究。实验试样是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝腹,相继再蒸上所需不同厚度的钛膜,Ar^+离子注入剂量为1.2×10^(16)—1.4×10^(17)Ar^+/cm^2。用2.0MeVa粒子对注入前后的样品进行了...
关键词：离子束 混合 Ti:Al薄膜 
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