刘惠珍

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离子束引起的在Al/Cr双层薄膜界面处的原子混合
《原子与分子物理学报》1991年第4期2006-2011,共6页吴美珍 刘惠珍 寿焕根 侯明东 
全国自然科学基金资助项目
用600keV的Kr^+离子轰击Al/Cr双层薄膜样品进行界面原子反应及相互混合的研究。实验样品是在单晶硅上蒸镀约500nm厚的铝膜,相继再蒸上所需厚度的铬膜而制成的。轰击剂量为2.0×10^(15)-2.5×10^(16)Kr^+/cm^2。用2.0MeVa粒子对轰击前后...
关键词：离子束 薄膜 Al/Cr 原子 混合 界面 
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