张玮琪

作品数：4被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团公司第四十五研究所更多>>
发文主题：可编程控制器切片机电气故障以太网控制K金更多>>
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300mm晶圆的复合划片工艺方案简析
《电子工业专用设备》2015年第7期6-10,共5页孙敏 张玮琪 张崇巍 
通过对比目前各种主流划片工艺的优缺点,分析了300 mm晶圆的材料结构特性和主要工艺挑战,提出了复合工艺解决方案;并详细分析了主要工艺路线的挑战,通过具体实验的分析,得到了复合工艺解决方案的结果以及新问题和解决思路。
关键词：低K金属层间材料 激光划片机 砂轮划片 划切工艺 晶圆保护膜 
抛光垫修整系统的应用研究
《电子工业专用设备》2015年第8期15-18,50,共5页张玮琪 王洪建 孙敏 
抛光垫修整器系统是CMP设备的重要组成部分,它可以优化CMP的工艺结果,有效延长抛光垫的寿命;通过介绍抛光垫修整器装置的整体结构、机械结构、气动控制及建立数学模型,并利用Matlab软件进行仿真,得出全抛光垫均匀修整覆盖的模型,指出今...
关键词：化学机械平坦化 抛光垫修整器 抛光垫 集成电路设备 
切片机电气故障的检修与维护被引量：1
《电子工业专用设备》2004年第8期69-71,共3页张玮琪 
主要介绍了QP-301D切片机电气系统的硬件设计可编程控制器PLC与三菱液晶触摸屏(HMI)之间的通讯,用PLC高速输出脉冲对步进电机和交流伺服电机的控制。以及对机器出现故障后的检修方法、整机的维护进行了举例说明。
关键词：切片机 电气故障 故障检修 QP-301D 可编程控制器 
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