徐婕

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供职机构:西安交通大学更多>>
发文主题:半导体结构光热格林函数卡尔曼滤波目标检测更多>>
发文领域:理学更多>>
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激光激励下微半导体结构的三维温度响应
《固体力学学报》2014年第5期458-463,共6页徐婕 宋亚勤 康永锋 
国家自然科学基金(10972169);中央高校基本科研业务费专项资金资助
论文运用耦合的等离子波和热传导模型研究了在激光激励下的半导体微硅试件的温度响应;采用格林函数方法得到了在热化热源、体复合热源和表面复合热源共同作用下三维微硅试件中载流子浓度和温度的解析解;对均布激光和聚焦激光激励下的微...
关键词:光热 微半导体结构 格林函数 载流子浓度 温度 
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