李明月

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：纳米多孔疏水型低介电常数更多>>
发文领域：一般工业技术更多>>
发文期刊：《稀有金属材料与工程》更多>>
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疏水型纳米多孔SiO_2薄膜的制备与性能表征被引量：1
《稀有金属材料与工程》2008年第A02期221-224,共4页高庆福 冯坚 李明月 张长瑞 王小东 冯军宗 
国防预研项目资助(41312040307)
采用TMCS对超临界干燥后的纳米多孔SiO2薄膜进行疏水处理,利用FTIR、SEM、椭偏仪和LCR测量仪等对薄膜的性能进行表征。研究表明:TMCS修饰后薄膜呈疏水性;薄膜的厚度有所降低,但孔隙率无明显变化;薄膜的实测介电常数值接近理论计算值,为...
关键词：纳米多孔SiO2薄膜 疏水处理 低介电常数 
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