邵春玉

作品数:2被引量:4H指数:2
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供职机构:大连理工大学电子科学与技术学院更多>>
发文主题:传感器材料压电材料铁电性铁电不同组分更多>>
发文领域:理学一般工业技术机械工程电气工程更多>>
发文期刊:《仪器仪表学报》《功能材料与器件学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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不同组分PZT压电薄膜的性能被引量:2
《功能材料与器件学报》2007年第2期123-128,共6页邵春玉 王兢 刘梦伟 董维杰 崔岩 
国家自然科学基金资助项目(No.90207003;No.60474052).
采用sol-gel工艺在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了不同条件的锆钛酸铅(PZT)薄膜。分析了不同的前烘温度、不同锆钛比例对PZT薄膜的微观结构和电特性所产生的影响。SEM分析结果显示,铁电薄膜的晶化较完善,薄膜表面均匀致密。用X射线衍射分析...
关键词:锆钛酸铅 溶胶-凝胶 前烘温度 薄膜组分 电滞回线 
压电传感器材料的铁电特性研究被引量:2
《仪器仪表学报》2006年第z1期302-303,共2页邵春玉 王兢 刘梦伟 董维杰 
国家自然科学基金(90207003)资助项目
本文采用溶胶-凝胶工艺制备了不同Mn离子掺杂浓度的PZT薄膜。研究了不同掺杂浓度对压电传感器薄膜铁电特性的影响。试验结果表明:当Mn离子含量较少时,Mn在PZT中主要表现施主掺杂特性,薄膜铁电性能提高;而当浓度增大时,薄膜性能降低。
关键词:压电材料 PZT 铁电性 MN 
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