陈奕峰

作品数:1被引量:4H指数:1
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单晶硅小金字塔绒面及其对太阳电池性能的影响被引量:4
《材料导报》2011年第2期13-16,共4页梁学勤 冯成坤 陈奕峰 沈辉 闻立时 
广东省科技计划(2009B011100002)
研究了TMAH(四甲基氢氧化铵)和NaOH腐蚀液在制作单晶硅片小绒面中的应用,制作出平均尺寸小于2μm的金字塔绒面;比较了不同硅片预处理(酸减薄、碱减薄、原片)对金字塔绒面尺寸、均匀性、覆盖率以及反射率的影响以及电池的I-V性能,分析了...
关键词:单晶硅片 小金字塔绒面 TMAH NAOH 太阳电池 
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