高飒飒

作品数：3被引量：18H指数：3
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：面形误差X射线干涉光刻面形超高真空更多>>
发文领域：机械工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金：应用光学国家重点实验室开放基金国家自然科学基金国家科技重大专项更多>>
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超高真空精密四刀狭缝的结构原理及有限元分析被引量：4
《光学精密工程》2013年第7期1741-1747,共7页高飒飒 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(Y2Q03FQK02);国家科技重大专项资助项目(No.2012ZX02702001)
针对上海光源X射线干涉光刻(XIL)光束线对狭缝精度的要求,提出了一种应用于超高真空的精密四刀狭缝机构及热缓释方案。给出了四刀狭缝机构的工作原理,其四个缝片独立运动,采用线性驱动装置及精密直线导轨来实现开合。根据XIL光束线的特...
关键词：X射线干涉光刻光束线 精密狭缝 四刀结构 重复精度 有限元分析 
X射线干涉光刻偏转聚焦系统热载影响与分析被引量：4
《光学学报》2012年第12期299-305,共7页高飒飒 卢启鹏 彭忠琦 龚学鹏 
国家自然科学基金(11079035);应用光学国家重点实验室开放基金(O9Q33FQ091)资助课题
为缩短实验前的等待时间,减小热辐射对光学元件的损伤以及热变形对实验的影响,充分利用同步辐射X射线获得稳定有效的实验结果,对X射线干涉光刻(XIL)光束线偏转聚焦系统进行了热-结构耦合分析。针对上海光源(SSRF)的光源参数,计算偏转聚...
关键词：X射线光学 功率密度分布 热平衡 面形误差 有限元分析 
同步辐射水平偏转压弯镜面形误差分析与补偿被引量：10
《光学精密工程》2011年第11期2644-2650,共7页卢启鹏 高飒飒 彭忠琦 
国家自然科学基金资助项目(No.11079035);应用光学国家重点实验室开放基金资助项目(No.O9Q33FQ091)
为提高同步辐射压弯镜面形精度,降低水平偏转压弯机构及镜子自重对压弯镜面形的影响,分析了影响压弯镜面形精度的因素,并提出了一种有效的重力平衡补偿方法。在研究水平偏转压弯机构压弯机理的基础上,对压弯镜面形进行误差分析;针对光...
关键词：同步辐射 压弯机构 水平偏转 面形误差 补偿 
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