伍志军

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供职机构：中国科学院研究生院更多>>
发文主题：X-射线滤光片镍网太阳软X射线更多>>
发文领域：理学一般工业技术电子电信机械工程更多>>
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软X-射线滤光片支撑镍网的设计及制作工艺研究
《压电与声光》2010年第2期195-197,共3页伍志军 李加东 张贵彦 缪同群 
国家自然科学基金资助项目(40474069)
介绍了软X-射线滤光片支撑栅网的工作原理及其制作工艺,以金属镍为结构材料,采用了微机电系统(MEMS)技术中的电镀工艺及剥离工艺,讨论了制作工艺中的难点,最后成功制作了网面平整、网线匀称、表面光亮、应力小、厚度均匀的镍网,该镍网...
关键词：X-射线光学 滤光片 电铸镍网 太阳X-射线成像望远镜 
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