刘邦治

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离子束增强沉积法制备Mo_2N和Mo_(2-x)Ti_xN薄膜及其结构与性能研究
《核技术》2000年第7期483-487,共5页刘邦治 李国卿 牟宗信 张家良 崔岩 黄宁表 何浩培 
分别采用氮离子束增强沉积和N－Ti离子束同步增强沉积工艺制备了Mo_2N和Mo_(2-x)TixN薄膜，用XRD、TEM、划痕和阳极极化方法研究了两者的结构与性能。结果表明，N－Ti离子束同步增强沉积工艺制备的Mo_(2-x)Ti_xN薄膜的膜基结合力、致密...
关键词：离子束增强 氮化钼薄膜 制备 结构 性能 
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