刘野

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：沈阳工业大学更多>>
发文主题：硅SOI晶圆膜结构微压传感器化学镀镍更多>>
发文领域：自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>
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基于SOI晶圆材料的硅微压传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2012年第5期15-16,共2页李新 刘野 刘沁 孙承松 
辽宁省自然基金项目(20102162)
为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题,以SOI晶圆材料为基础,使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构,采用MEMS工艺完成传感器芯片制作,并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明,传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa,非线性小...
关键词：硅微压传感器 岛-膜结构 SOI晶圆 
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