刘沁

作品数：16被引量：55H指数：5
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供职机构：沈阳仪表科学研究院有限公司更多>>
发文主题：传感器差压传感器硅电容力敏传感器极板更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信经济管理机械工程更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《半导体技术》《仪器仪表学报》《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：辽宁省自然科学基金辽宁省教育厅高等学校科学研究项目国家科技攻关计划更多>>
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单晶硅高温压阻式压力传感器被引量：6
《仪表技术与传感器》2020年第10期1-3,7,共4页吴沛珊 刘沁 李新 张治国 郑东明 
2019年辽宁省科技重大专项项目(2019JH1/10100022)。
适于高温环境应用的压力传感器的相关研究工作备受关注。以注氧隔离(SIMOX)技术SOI晶圆为基础,探讨了单晶硅高温压阻式压力传感器芯片和封装结构设计,在传感器国家工程中心OEM压力传感器制作工艺的基础上,完成传感器研制与测试。结果表...
关键词：高温压力传感器 注氧隔离 压阻效应 
新型小型化水深测控组件研制被引量：2
《仪表技术与传感器》2013年第12期153-154,共2页徐淑霞 孙海玮 梁峭 刘沁 张治国 常伟 陈琳 刘新 
介绍了一种新型的小型化水深测量控制组件,该测控组件是由具有专利技术的高可靠长寿命机械式触点压力开关和数字式多量程深度传感器及通讯模块组成,组件系统的测量传感器采用全固态一体化硬封接结构,体积小于Φ50mm×70 mm,深度测量误...
关键词：压力开关 深度传感器 测控组件 
传感器产业现状和产业结构思考被引量：6
《仪表技术与传感器》2013年第9期1-5,27,共6页徐开先 徐秋玲 刘沁 
阐述了国内传感器产业存在的主要问题及发展现状:我国传感器的产业布局基本形成,产品门类基本齐全;传感器产品技术水平、工艺、新产品开发、应用研究比国外落后10～15年。认为随着《加快推进传感器及智能化仪器仪表产业发展行动计划》...
关键词：传感器产业 现状 结构体系 发展建议 
基于无线传感器网络的矿井瓦斯监测系统被引量：9
《仪表技术与传感器》2013年第9期73-76,共4页李金凤 刘沁 张治国 曹顺 
为满足矿井巷道环境瓦斯浓度监测的需求,设计了一种基于无线传感器网络的瓦斯监测系统。兼顾功耗和性能,提出了基于ATmega128L的瓦斯测量方案。在TinyOS操作系统下实现无线传感器的网络平台,定时完成矿井瓦斯浓度信号采集、数据处理及...
关键词：无线传感器网络 瓦斯浓度 TINYOS ATMEGA128L 
CMOS数字热真空传感器芯片设计被引量：1
《半导体技术》2012年第12期905-908,共4页李金凤 刘沁 张治国 曹顺 
辽宁省教育厅科研项目资助(L2011064)
基于标准CMOS工艺设计了一款集成热真空传感器、运算放大器、逐次逼近型模数转换器(SAR ADC)、数字信号处理电路的传感器系统。工作在恒电流模式的传感器,气压敏感区间为1～105Pa。运算放大器(OPAMP)的输入级采用互补差分对获得轨至轨...
关键词：集成传感器 热真空传感器 模数转换器 运算放大器 逐次逼近寄存器 
基于SOI晶圆材料的硅微压传感器被引量：4
《仪表技术与传感器》2012年第5期15-16,共2页李新 刘野 刘沁 孙承松 
辽宁省自然基金项目(20102162)
为解决硅微压传感器制作过程中存在的问题,以SOI晶圆材料为基础,使用有限元方法优化设计岛-膜型1kPa压力敏感结构,采用MEMS工艺完成传感器芯片制作,并对封装后的传感器进行了测试。测试结果表明,传感器输出灵敏度大于60 mV/kPa,非线性小...
关键词：硅微压传感器 岛-膜结构 SOI晶圆 
注氧隔离技术SOI晶圆材料高温压阻效应被引量：1
《仪表技术与传感器》2011年第6期1-2,共2页李新 刘沁 
辽宁省自然基金项目(20102162);辽宁省微纳米技术及系统重点实验室;微系统与微制造辽宁省高校重点实验室开放基金项目
针对注氧隔离技术制备的SOI晶圆顶层硅材料的高温压阻效应,设计并制作研究压阻效应的实验装置与测试样品,在高温条件下,利用悬臂梁结构研究SOI晶圆顶层硅的压阻效应。研究结果表明:在一定的掺杂浓度条件下,硅[110]晶向上的纵向压阻系数...
关键词：压阻效应 注氧隔离 高温 
电容式压力传感器的线性化校正与温度补偿被引量：10
《仪表技术与传感器》2010年第11期1-2,6,共3页刘沁 周东旭 张治国 匡石 李新 
论述了利用最小二乘法和牛顿插值法对电容式压力传感器的非线性和温度影响进行校正和补偿的方法。对电容式压力传感器信号存在非线性和温漂问题的机理进行了分析。采用最小二乘法对传感器输出信号进行非线性校正,然后利用牛顿插值法进...
关键词：电容式压力传感器 最小二乘法 牛顿插值法 
硅电容传感器中静电封接工艺技术的应用被引量：4
《仪表技术与传感器》2009年第11期17-19,共3页李颖 张治国 祝永峰 林洪 刘剑 刘沁 匡石 孙海伟 
对于新近发展起来的新一代结构型力敏器件,如硅电容力敏器件、电容型加速度力敏器件等,常规的静电封接工艺已无法满足其小间隙(间隙通常小于10μm)封接的特殊要求,封接后会造成极板间的粘连,导致器件失效。文中结合电容传感器的结构特点...
关键词：硅电容 传感器 小间隙 非粘连 静电封接 
差压传感器双向过载误差的完善被引量：3
《仪表技术与传感器》2009年第B11期94-95,共2页刘剑 李颖 刘波 张娜 张治国 刘沁 
文中从结构设计、制作工艺、原材料的性能参数选择等方面介绍了影响差压传感器双向过载误差的因素及完善双向过载误差方法的体会。
关键词：双向过载误差 差压传感器 膜片 
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