孙海玮

作品数：10被引量：21H指数：2
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发文期刊：《强激光与粒子束》《仪表技术与传感器》《传感器与微系统》《微纳电子技术》更多>>
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响应面方法的硅刻蚀工艺优化分析（英文）
《强激光与粒子束》2016年第6期46-50,共5页付文婷 梁峭 崔可夫 石天立 张娜 郑东明 唐慧 孙海玮 
利用响应面分析方法优化了用于压力传感器硅敏感芯体的刻蚀操作条件。主要考虑了温度、KOH浓度和腐蚀时间三个操作参数,将它们的范围分别设定为40~60℃,0.4~0.48mol/L和5~12.5h,并设定各向异性腐蚀速率为响应值。通过建立二次方模型,分...
关键词：KOH各向异性 响应面分析方法 刻蚀速率 传感器 
耐低温气象压阻传感器研制被引量：2
《传感器与微系统》2015年第8期119-120,130,共3页张娜 唐慧 梁峭 刘剑 孙海玮 
介绍了一种耐低温气象传感器的制作方法,该传感器应用于航天环控系统,采用扩散硅压阻芯片、TO—8管座装配、硅凝胶封装,体积小、质量轻,对外界恶劣环境适应性强,使用温区在-55~95℃。测试结果显示：该传感器常温静态、高低温性能良好,...
关键词：压阻 TO—8 硅凝胶 传感器 
基于RS485通信的新型水深测量组件被引量：1
《仪表技术与传感器》2014年第6期24-26,共3页周磊 孙海玮 匡石 梁峭 
以往的水深测量组件通常以模拟信号作为输出,但模拟信号存在抗干扰能力弱等缺陷,而数字信号可以弥补模拟信号的不足,数字化的传输与交换可以更好地融入计算机和互联网系统,实现产品的自动化和智能化。文中介绍的新型水深测量组件基于RS...
关键词：水深测量 数字化传输 RS485通信 
新型小型化水深测控组件研制被引量：2
《仪表技术与传感器》2013年第12期153-154,共2页徐淑霞 孙海玮 梁峭 刘沁 张治国 常伟 陈琳 刘新 
介绍了一种新型的小型化水深测量控制组件,该测控组件是由具有专利技术的高可靠长寿命机械式触点压力开关和数字式多量程深度传感器及通讯模块组成,组件系统的测量传感器采用全固态一体化硬封接结构,体积小于Φ50mm×70 mm,深度测量误...
关键词：压力开关 深度传感器 测控组件 
深度传感器的研制被引量：4
《仪表技术与传感器》2009年第B11期164-166,共3页梁峭 孙海玮 殷波 常胜利 
功能集成化和结构一体化逐渐成为新技术和新产品发展的主要趋势之一。深度传感器的研制就是通过技术创新,采用一体化结构设计,将压力传感器与机械式压力开关设计安装在同一压力腔体内,能同时感受动作压力并同时提供开关信号与深度信号...
关键词：压力传感器 机械式压力开关 一体化结构 
动力装置压力开关的研制被引量：2
《仪表技术与传感器》2008年第12期17-18,共2页梁峭 孙海玮 刘宏伟 刘波 
为满足工业仪表使用需要,研制一种动力装置压力开关。该压力开关具有耐高温、抗振动、高过载的特性。整机采用金属膜片式结构,设计和研制使用多种金属和非金属材料,研制流程经过20多道工序,涉及多门学科相互交叉的综合技术。主要应用于...
关键词：动力装置 压力开关 高温 高过载 
压力开关传感器被引量：2
《微纳电子技术》2007年第7期298-300,共3页梁峭 孙海玮 郭丽娟 
为了满足我国相关行业配套组件的迫切需要,研制了一种新型压力开关传感器。该传感器采用一体化结构设计,将小型压力传感器与机械式压力开关安装在同一压力腔内,共用同一个压力接口和信号接插件,能够同时提供阶跃量信号和连续量电信号。...
关键词：压力传感器 机械压力开关 一体化结构 
复合式压力开关传感器被引量：1
《仪表技术与传感器》2005年第5期6-8,共3页孙海玮 牛军 刘宏伟 陈信琦 郭丽娟 刘波 徐淑霞 
介绍一种复合式压力开关传感器,可设置多路开关量限,提供系统上、下限和超限报警。描述机械式开关和压力传感器的相互关系,包括一体化的结构设计、传感器的温度补偿、控制电路。
关键词：压力开关 传感器 一体化 
硅电容压力传感器敏感器件的研究被引量：7
《微纳电子技术》2004年第11期39-42,共4页张治国 褚斌 李颖 孙海玮 祝永峰 林洪 刘沁 匡石 陈信琦 
研制的硅电容压力传感器芯体采用微机械加工技术,加工精度高,易于批量化生产。结构上采用对称的差动电容形式,并将其封装在专用基座中,适用于中、微压力的高精度测量,可用于目前通用压力传感器的升级产品。
关键词：压力传感器 电容 升级 通用 批量 器件 微机械加工技术 封装 量化 基座 
扩散硅多功能集成差压传感器被引量：2
《仪表技术与传感器》2004年第7期6-7,共2页唐慧 孙海玮 刘宏伟 郑东明 张治国 陈信琦 郑永辉 
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感...
关键词：扩散硅 多功能 集成差压传感器 差压敏感元件 静压敏感元件 温度敏感元件 
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