唐慧

作品数：4被引量：4H指数：2
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响应面方法的硅刻蚀工艺优化分析（英文）
《强激光与粒子束》2016年第6期46-50,共5页付文婷 梁峭 崔可夫 石天立 张娜 郑东明 唐慧 孙海玮 
利用响应面分析方法优化了用于压力传感器硅敏感芯体的刻蚀操作条件。主要考虑了温度、KOH浓度和腐蚀时间三个操作参数,将它们的范围分别设定为40~60℃,0.4~0.48mol/L和5~12.5h,并设定各向异性腐蚀速率为响应值。通过建立二次方模型,分...
关键词：KOH各向异性 响应面分析方法 刻蚀速率 传感器 
耐低温气象压阻传感器研制被引量：2
《传感器与微系统》2015年第8期119-120,130,共3页张娜 唐慧 梁峭 刘剑 孙海玮 
介绍了一种耐低温气象传感器的制作方法,该传感器应用于航天环控系统,采用扩散硅压阻芯片、TO—8管座装配、硅凝胶封装,体积小、质量轻,对外界恶劣环境适应性强,使用温区在-55~95℃。测试结果显示：该传感器常温静态、高低温性能良好,...
关键词：压阻 TO—8 硅凝胶 传感器 
高强度环境适应性压力传感器研制
《仪表技术与传感器》2015年第3期72-73,91,共3页李乐强 田林涛 周磊 梁峭 刘新 唐慧 张弘一 
水下探测装置应用广泛,此类装置通常需要长时间工作在恶劣的环境中,例如高温,强振动、介质腐蚀等。水下探测装置中核心的部件即为压力敏感组件,其性能的优劣对水下探测装置的整体功能起到至关重要的作用。因此,此类压力敏感组件既要具...
关键词：抗振 冲击 耐腐蚀 压力传感器 
扩散硅多功能集成差压传感器被引量：2
《仪表技术与传感器》2004年第7期6-7,共2页唐慧 孙海玮 刘宏伟 郑东明 张治国 陈信琦 郑永辉 
传感器的智能化从数字运算上解决传感器的温度补偿、静压补偿问题,解决了以前静压无法补偿,仅靠工艺解决的难题;改变了温度补偿仅靠硬件电路的方式。大大提高了仪表的测量精度,达到0 1%和0 075%。增加了传感器输出的信息量,实现了传感...
关键词：扩散硅 多功能 集成差压传感器 差压敏感元件 静压敏感元件 温度敏感元件 
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