张仁群

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供职机构:大连理工大学更多>>
发文主题:光纤探针近场光学显微镜扫描探针显微镜光子扫描隧道显微镜化学腐蚀更多>>
发文领域:理学机械工程电子电信金属学及工艺更多>>
发文期刊:《电子显微学报》更多>>
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双功能弯曲光纤探针的制作
《电子显微学报》2006年第6期494-497,共4页张仁群 潘石 李鹏飞 
探针是所有扫描探针显微镜的关键部件。本文提出了一种采用普通单模光纤制作在原子力和光子扫描隧道组合显微镜(AF/PSTM)上使用的弯曲光纤探针的方法。通过合理的选择实验参数,经过热拉仲与化学腐蚀两个过程,得到弯曲部分的角度为...
关键词:光纤探针 热拉伸 化学腐蚀 原子力显微镜 光子扫描隧道显微镜 
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