张安邦

作品数:1被引量:2H指数:1
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供职机构:浙江大学材料科学与工程学系硅材料国家重点实验室更多>>
发文主题:TIO_2薄膜SI溅射热氧化电致发光更多>>
发文领域:理学电子电信更多>>
发文期刊:《发光学报》更多>>
所获基金:浙江省自然科学基金杰出青年团队项目国家教育部博士点基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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溅射的Ti薄膜热氧化形成的TiO_2薄膜与p^+-Si形成的异质结的电致发光被引量:2
《发光学报》2011年第5期471-475,共5页张安邦 马向阳 金璐 杨德仁 
教育部博士点基金(007033501);浙江省自然科学基金杰出青年团队项目(R4090055);国家"973"计划(2007CB13403)资助项目
利阿太磁控溅射法以不同条件在重掺硼硅片(p^+-Si)上制备Ti薄膜,经过一定条件下的热氧化转化为TiO_2薄膜,从而形成TiO_2/p^+ -Si异质结。研究表明:要使TiO_2/p^+ -Si异质结产生显著的电致发光,其中的TiO_2薄膜必须呈现单一的锐钛矿相,...
关键词:二氧化钛  异质结 电致发光 
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