曾富强

作品数：2被引量：13H指数：2
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供职机构：暨南大学理工学院物理学系更多>>
发文主题：二氧化钒薄膜磁控溅射相变温度热氧化法AZO薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术理学电子电信航空宇航科学技术更多>>
发文期刊：《真空》《材料导报》更多>>
所获基金：广东省科技计划工业攻关项目广州市科技计划项目更多>>
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薄膜厚度和工作压强对室温制备AZO薄膜性能的影响被引量：6
《材料导报》2011年第12期45-48,共4页张俊双 叶勤 曾富强 王权康 
广东省科技计划项目(2005B10201055);广州市科技计划项目(2005Z3-D0041)
采用射频磁控溅射法在室温下、普通玻璃基片上制备了AZO透明导电薄膜。用X射线衍射仪、原子力显微镜、紫外-可见分光光度计和四探针测量了不同薄膜厚度和不同工作压强下所得样品的结构、电学和光学性能,结果表明,所制备的AZO薄膜均具有...
关键词：磁控溅射 AZO导电薄膜 薄膜厚度 工作压强 光电性能 
热氧化法制备二氧化钒薄膜及其相变温度研究被引量：7
《真空》2011年第2期22-24,共3页曾富强 叶勤 张俊双 王权康 李仕萍 
采用直流磁控溅射在普通玻璃衬底上沉积金属V膜,然后在空气中热氧化制备VO2薄膜。用X射线衍射仪(XRD)、原子力显微镜(AFM)、傅里叶变换红外光谱仪(FT-IR)和X射线衍射光电子能谱仪(XPS)分析氧化温度对薄膜的微观结构、光学透过率、相变...
关键词：二氧化钒薄膜 热氧化 磁控溅射 相变温度 
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