云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 朱峰

朱峰: 作品数：1被引量：7H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：南开大学信息技术科学学院光电子薄膜器件与技术研究所更多>>; 发文主题：夜视光子学光探测图象透明电极更多>>; 发文领域：电子电信生物学电气工程更多>>; 发文期刊：《物理学报》更多>>; 所获基金：国家重点基础研究发展计划国家自然科学基金天津市科技攻关项目更多>>

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激发频率对VHF-PECVD制备微晶硅材料性能的影响被引量：7: 《物理学报》2006年第3期1497-1501,共5页高艳涛张晓丹赵颖孙建朱峰魏长春; 国家"973"重大基础研究发展规划项目(批准号:G2000028202;G2000028203);国家自然科学基金(批准号:60506003);中国-希腊政府间合作项目(批准号:05YEGHHZ01400);天津市科技攻关项目(批准号:043186511)资助的课题.~~; 采用甚高频等离子增强化学气相沉积(VHF-PECVD)的方法制备了硅烷浓度分别为6%和7%,随激发频率变化(40—70MHz)的氢化微晶硅(μc-Si∶H)薄膜材料.研究了材料的电学特性、结构特性、沉积速率与激发频率之间的关系.结果发现材料的光敏性随...; 关键词：甚高频等离子增强化学气相沉积本征微晶硅激发频率