蔡宏昆

作品数:1被引量:4H指数:1
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发文主题:柔性衬底磁控溅射GUZNO:GA硅薄膜太阳电池更多>>
发文领域:电子电信电气工程更多>>
发文期刊:《光电子.激光》更多>>
所获基金:天津市应用基础与前沿技术研究计划天津市科技攻关计划国家高技术研究发展计划更多>>
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柔性衬底硅薄膜太阳电池中ZGO薄膜的应用被引量:4
《光电子.激光》2009年第6期745-748,共4页张德贤 姜元建 蔡宏昆 薛颖 陶科 王林申 赵敬芳 隋妍萍 
国家高技术研究发展计划资助项目(2006AA05Z422);天津市科技攻关计划资助项目(06YFGPGX08000);天津市应用基础及前沿技术研究计划资助项目(08JCYBJC13100)
在室温下,采用孪生对靶直流磁控溅射工艺,在玻璃衬底上制备出高质量的Ga掺杂ZnO(ZnO:Ga)透明导电膜。研究了薄膜厚度对薄膜的结构、光学及电学特性的影响。制备的ZnO:Ga是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜,最佳择优取向为(002)方向。随着...
关键词:Gu掺杂ZnO(ZnO:Ga) 磁控溅射 柔性衬底 太阳电池 
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