赵华玉

作品数：2被引量：11H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：磁控溅射磁控溅射沉积磁控磁场分布非平衡磁控溅射更多>>
发文领域：一般工业技术航空宇航科学技术金属学及工艺更多>>
发文期刊：《真空科学与技术学报》《航空制造技术》更多>>
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平面磁控溅射靶磁场的计算被引量：11
《真空科学与技术学报》2008年第3期271-274,共4页赵华玉 牟宗信 贾莉 张鹏云 郝胜智 
国家自然科学基金资助项目(No.50407015)
精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要。本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁...
关键词：磁控溅射 磁场 有限元法 
中频磁控溅射沉积AlNx薄膜原子力形貌
《航空制造技术》2007年第z1期378-380,共3页牟宗信 王振伟 刘升光 赵华玉 
国家自然科学基金青年基金(50407015)资助项目.
在不同的氮气比例下,固定其他的放电条件,采用中频磁控测射沉积技术在常温下沉积AlNx薄膜.通过原子力显微镜研究了氮气比例对AlNx薄膜形貌和薄膜表面均方根粗糙度的影响.
关键词：磁控溅射 物理化学气相沉积 氮化铝 
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