云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 陈媛婧

陈媛婧: 作品数：1被引量：0H指数：0; 导出分析报告; 供职机构：中北大学更多>>; 发文主题：热电堆工区多晶硅热辐射热电偶更多>>; 发文领域：自动化与计算机技术经济管理电子电信更多>>; 发文期刊：《传感技术学报》更多>>; 所获基金：山西省自然科学基金江苏省自然科学基金国家自然科学基金更多>>

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一种基于悬浮吸收层的双层结构的热电堆红外探测器(英文): 《传感技术学报》2014年第6期730-735,共6页陈媛婧毛海央谭秋林薛晨阳欧文陈大鹏熊继军; 国家自然科学基金项目(61335008,51205373);江苏省自然科学基金项目(BK20131098);山西省自然科学基金项目(2012021013-4); 提出一种新颖红外传感器,这种传感器采用悬浮吸收层的双层结构的优势,来实现相对小尺寸下的高探测性能。双层结构采用2种牺牲层材料,分别为聚酰亚胺牺牲层和预埋在热偶条和沉底之间的多晶硅材料。仿真结果证明了该种结构的探测率、响应...; 关键词：红外探测器双层结构热电堆吸收层悬浮红外传感器多晶硅材料 CMOS工艺