陈立军

作品数:1被引量:1H指数:1
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发文主题:测量系统半导体激光器平行度测量更多>>
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二维PSD器件在两平面(二维)平行度测量中的应用被引量:1
《煤矿机械》2003年第10期47-49,共3页高经伍 赵凤华 陈立军 
介绍日本20世纪80年代的新产品二维PSD器件“光位敏器”(Position Sensitive Detec-tors)以及LD“半导体激光器”(Semiconductor Laser Detectors),对二维PSD的工作原理进行了分析,讨论了由二维PSD和LD组成的“光-位置传感器”在两平面...
关键词:二维PSD器件 二维平行度 半导体激光器 测量系统 
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