陈雄飞

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：浙江大学更多>>
发文主题：铟铜硫光吸收性能湿化学法制备更多>>
发文领域：理学电气工程更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
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超声喷雾法制备In_2S_3薄膜及后续快速热处理对薄膜性能的影响被引量：5
《人工晶体学报》2008年第5期1069-1072,共4页陈雄飞 汪雷 杨德仁 
国家自然科学基金(No.60544006);国家"973"计划(No.2007CB613403)资助
采用超声喷雾法制备了硫化铟（In2S3）薄膜，并考察了后续快速热处理（rapid thermal process，RTP）对硫化铟薄膜性能的影响。采用扫描电镜（SEM），X射线衍射（XRD）等手段对薄膜的形貌、结构、透射率等性质进行了表征。结果表明：超...
关键词：硫化铟 快速热处理 超声喷雾法 
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