吴峰

作品数:1被引量:2H指数:1
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供职机构:中国科学院上海硅酸盐研究所更多>>
发文主题:衬底氧化锡硅衬底多层膜纳米材料更多>>
发文领域:一般工业技术理学自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊:《无机材料学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>
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脉冲激光沉积法生长In掺杂SrTiO3薄膜及其微观结构研究被引量:2
《无机材料学报》2008年第3期531-534,共4页张亦文 李效民 赵俊亮 于伟东 高相东 吴峰 
国家重点基础研究发展计划项目(2002CB613306);国家自然科学基金(90401010)
采用脉冲激光沉积(PLD)方法在MgO/TiN/Si(100)衬底上,生长不同In掺杂量的SrIn_xTi_(1-x)O_3(x=0、0.1、0.2)薄膜,研究In掺杂及本征SrTiO_3(STO)缓冲层对薄膜结晶性能、表面形貌、生长模式及紫外拉曼光谱特性的影响.结果表明,In掺杂导致...
关键词:脉冲激光沉积法 SRTIO3薄膜 缓冲层 结晶度 
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