姚尧

作品数：2被引量：1H指数：1
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供职机构：南京大学更多>>
发文主题：纳米硅菲涅耳衍射光强分布更多>>
发文领域：理学机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
所获基金：国家重点基础研究发展计划江苏省自然科学基金国家高技术研究发展计划国家自然科学基金更多>>
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二维移相光栅光强分布的计算及在制备有序纳米硅阵列中的应用被引量：1
《物理学报》2010年第5期3205-3209,共5页严敏逸 王旦清 马忠元 姚尧 刘广元 李伟 黄信凡 陈坤基 徐骏 徐岭 
国家重点基础研究发展计划(批准号:2006CB932202);江苏省自然科学基金(BK2007135);国家高技术研究发展计计划(批准号:2008AA031403)资助的课题~~
从菲涅耳衍射积分的一般形式出发,结合二维(2D)移相光栅掩模(PSGM)的具体参数,通过数值计算得到了作用于样品表面的光强分布.实验上,采用激光干涉晶化的方法,利用周期为400nm的2D-PSGM调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在...
关键词：纳米硅 激光干涉晶化 移相光栅 菲涅耳衍射 
激光干涉结晶法制备一维周期结构的纳米硅阵列
《物理学报》2008年第8期4960-4965,共6页姚尧 方忠慧 周江 李伟 马忠元 徐骏 黄信凡 陈坤基 宫本恭幸 小田俊理 
国家自然科学基金(批准号:90301009;60571008;60471021);国家重点基础研究发展规划(批准号:2006CB932202)资助的课题~~
利用激光干涉结晶方法,采用周期为400nm的一维(1D)移相光栅掩模调制KrF准分子激光器的脉冲激光束斑的能量分布,在不同厚度的超薄氢化非晶硅(a-Si:H)膜内直接制备1D有序纳米硅(nc-Si)阵列.拉曼散射谱表明,样品上呈条状分布的受辐照区域...
关键词：纳米硅 激光干涉结晶 移相光栅 定域晶化 
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