云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 彭俊华

彭俊华: 作品数：2被引量：12H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：福州大学材料科学与工程学院更多>>; 发文主题：钛阳极磁控溅射扫描电镜观察磁致伸缩膜性能更多>>; 发文领域：理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>; 发文期刊：《福州大学学报（自然科学版）》《电子显微学报》更多>>; 所获基金：福建省高校测试基金更多>>

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磁控溅射SmFe_2 GMF的工艺及膜性能研究被引量：1: 《福州大学学报（自然科学版）》2003年第6期690-694,共5页彭俊华周白杨邓光华王平周军; 福建省科委高新技术与火炬计划(99-H-44);福州大学科技发展基金(XKJ(QD)-01/3);福建省高校测试基金(JC200044); 采用正交试验方法研究了磁控溅射的工艺因素:溅射功率、溅射气压、基片到靶材的距离等对SmFe2超磁致伸缩薄膜制备的影响;用SEM能谱仪研究了获得的SmFe2薄膜的成分;用小角度X射线掠射法研究了获得的SmFe2薄膜的结构;得到了磁控溅射制备Sm...; 关键词：磁控溅射 SmFe2 功能薄膜磁致伸缩