房世林

作品数:1被引量:2H指数:1
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一次编程(OTP)存储器的数据保持特性工艺研究被引量:2
《电子器件》2007年第2期395-397,共3页房世林 李月影 何永华 
对0.5μm叠柵一次编程(OTP)存储器工艺进行研究,通过选择介质(ONO)工艺条件,选择合适单元尺寸,增加(SIN)保护,优化单元侧面工艺等,使得存储单元在250℃高温24h加速老化后写入阈电压漂移小于10%,嵌入式OTP产品(64k*8位)可靠性评估存储器...
关键词:叠柵 OTP 数据保持 嵌入式 
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