承刚

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>
发文主题：蓝宝石晶体隔热屏泡生法晶体炉内更多>>
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泡生法蓝宝石晶体炉内隔热屏损坏机理研究被引量：3
《稀有金属材料与工程》2013年第S2期517-519,共3页承刚 孟秀清 董珊 
泡生法蓝宝石晶体炉钼制内隔热屏是炉内温场的一个重要部件,但损坏的几率非常高。为提高内隔热屏的使用寿命降低整个晶体的生产成本,通过对损坏的蓝宝石晶体炉内隔热屏轴向厚度分布测量,结合钼材料真空蒸发速率与温度的关系对其损坏机...
关键词：泡生法 蓝宝石晶体炉 内隔热屏 
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