梅森

作品数：1被引量：2H指数：1
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发文主题：氧化锌ZNO气敏材料气敏薄膜溶胶凝胶法制备更多>>
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溶胶凝胶法制备的ZnO气敏薄膜被引量：2
《传感器技术》1993年第3期18-20,28,共4页潘素瑛 梅森 
Zn(CH_3COO)_2通过溶胶凝胶法(Sol-Gel)被制备成粒度分布均匀的ZnO气敏薄膜,固有构参数已被确定。通过XRD(X射线衍射仪)和TEM(透射电镜)的分析结果,确认膜为ZnO多晶材料,并且利用高阻计测试了在不同气氛中试件的气体灵敏度。
关键词：溶胶凝胶法 氧化锌 气敏材料 薄膜 
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