王庆学

作品数：1被引量：4H指数：1
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供职机构：中国科学院上海技术物理研究所更多>>
发文主题：AL含量ALGAN密度研究位错衍射更多>>
发文领域：电子电信理学更多>>
发文期刊：《激光与红外》更多>>
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高Al含量AlGaN多层外延材料的应变与位错密度研究被引量：4
《激光与红外》2005年第11期880-882,共3页游达 王庆学 汤英文 龚海梅 
文中利用X射线三轴衍射测试手段对高A l(x≥0.45)含量p-i-n结构的A lxGa1-xN外延材料进行测试,并结合倒易空间图(RSM)和PV函数法对A lxGa1-xN外延材料进行评价。首先通过对RSM的定性分析,给出多层外延材料中不同A l组分A lxGa1-xN材料...
关键词：ALGAN 倒易空间图 应变 PV函数 
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