索海生

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硅晶体切片设备的研究现状与进展
《机床与液压》2011年第2期37-39,共3页侯志坚 索海生 
介绍了硅晶体切片设备的原理及关键技术。典型的切片设备包括切片机和线切割锯床两类,其原理与结构不同,适用范围也不相同。内圆切片机的刀片与主轴相连并高速旋转,同时相对工件径向进给,因为刀片与工件为刚性接触,切割大直径硅片容易...
关键词：硅晶体 切片 切片机 线锯 
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