苏军

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供职机构：华南师范大学光电子材料与技术研究所更多>>
发文主题：X射线衍射MOCVDGAN外延层硅衬底异丙醇更多>>
发文领域：电子电信理学电气工程更多>>
发文期刊：《华南师范大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金广东省自然科学基金更多>>
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Si图形衬底的制备及半极性GaN生长
《华南师范大学学报（自然科学版）》2010年第4期60-63,共4页苏军 李述体 尹以安 曹健兴 
国家自然科学基金项目(50602018);广东省自然科学基金项目(06025083)
利用KOH溶液的各向异性腐蚀,通过研究温度、异丙醇(IPA)及超声波振动对Si衬底腐蚀的影响,在Si(001)平面衬底上刻蚀出侧面为(111)面的槽状图形衬底.在此基础上,实现了GaN在Si图形衬底(111)侧面的生长.X射线双晶衍射测量GaN薄膜的Bragg角...
关键词：KOH溶液 各向异性腐蚀 异丙醇 超声波振动 半极性GaN Si图形衬底 
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