袁金坤

作品数:1被引量:3H指数:1
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供职机构:华中科技大学光学与电子信息学院更多>>
发文主题:大功率磁控溅射CO_2激光反常色散介质膜更多>>
发文领域:理学机械工程电子电信更多>>
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大功率射频板条CO_2激光器电极波导介质膜研究被引量:3
《中国激光》2015年第1期212-218,共7页杨卫红 袁金坤 王度 陈一峰 唐霞辉 
湖北省2014年支撑计划项目(2014AAA02)
针对高功率射频板条CO2激光器铜电极表面放电氧化、受射频放电的电子溅射,致使电极表面不光滑,辉光放电不均匀,光波导损耗严重等问题。利用Al2O3波导介质膜具有的反常色散效应、耐高温能力强的特点,采用磁控溅射镀膜技术对激光器电极表...
关键词:薄膜 射频板条CO2激光器 镀膜技术 磁控溅射 光波导 反常色散 
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