郑延斌

作品数：1被引量：5H指数：1
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发文主题：超导薄膜高温超导薄膜高TC更多>>
发文领域：一般工业技术电气工程电子电信更多>>
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高温超导薄膜的一种混刻技术被引量：5
《低温物理学报》1995年第1期44-47,共4页康琳 郑延斌 孙志坚 吉争鸣 
本文介绍了一种高温超导薄膜表面图形成型的化学湿法刻蚀技术，实验采用饱和乙二胺四乙酸（ＥＤＴＡ）、３％Ｈ３ＰＯ４和饱和ＮＨ４Ｃｌ三种溶液作为腐蚀液，分别对几组ＹＢＣＯ膜样品进行刻蚀，实验中井向腐蚀液和清洗液（去离子水）...
关键词：超导薄膜 湿刻技术 高TC 
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