高连

作品数：3被引量：8H指数：2
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供职机构：南京航空航天大学机电学院更多>>
发文主题：单晶硅电火花线切割损伤层变质层数值模拟更多>>
发文领域：金属学及工艺航空宇航科学技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《中国机械工程》《硅酸盐学报》《航空学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金江苏省科技支撑计划项目江苏省博士后科研资助计划项目更多>>
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单晶硅电火花线切割表面损伤层形成机理被引量：3
《航空学报》2012年第1期156-162,共7页刘志东 高连 邱明波 田宗军 汪炜 
国家自然科学基金(50975142);江苏省科技支撑计划(BE2009161);江苏省博士后基金(1002009C)~~
为了研究单晶硅电火花线切割(WEDM)表面损伤层的损伤形式和形成机理,以电火花线切割加工后的单晶硅表面为研究对象,采用表面形貌观察分析及择优腐蚀方法研究了单晶硅经过电火花线切割后的加工表面。研究结果表明单晶硅经电火花放电加工...
关键词：电火花线切割 单晶硅 损伤层 损伤形式 形成机理 
电火花线切割单晶硅的损伤层被引量：3
《硅酸盐学报》2011年第5期874-879,共6页高连 刘志东 邱明波 田宗军 汪炜 
国家自然科学基金(50975142);江苏省工业支撑计划(BE200-9161)资助项目
采用截面显微观察法和择优蚀刻法对电火花线切割单晶硅产生的亚表面损伤层进行检测。用光学显微镜观测和分析电火花线切割硅表面沿纵向分层择优腐蚀后的形貌;用能谱仪对腐蚀后的硅表层杂质元素进行分析;用扫描电子显微镜观察和测量腐蚀...
关键词：电火花线切割 单晶硅 损伤检测 损伤层 裂纹 
电火花线切割单晶硅变质层与裂纹分析被引量：2
《中国机械工程》2011年第9期1090-1095,共6页高连 刘志东 邱明波 田宗军 汪炜 
国家自然科学基金资助项目(50975142);江苏省科技支撑计划项目(BE2009161)
以电火花线切割的单晶硅为研究对象,建立了传热学数学模型,利用ANSYS仿真软件进行模拟计算,得到了放电区域的瞬态温度场和应力场分布。对电火花线切割后的硅片表面沿纵向进行了分层择优腐蚀试验,观察腐蚀表面形貌沿纵向的变化情况,确定...
关键词：电火花线切割 单晶硅 数值模拟 变质层 裂纹 
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