云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 齐晨光

齐晨光: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：河北大学更多>>; 发文主题：阻挡层大规模集成电路NINB磁控溅射法更多>>; 发文领域：理学电气工程电子电信更多>>; 发文期刊：《人工晶体学报》更多>>; 所获基金：河北省自然科学基金国家教育部博士点基金国家自然科学基金河北省应用基础研究计划更多>>

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含Ni-Nb阻挡层的硅基Pb(Zr_(0.4),Ti_(0.6))O_3电容器的制备及铁电性能研究被引量：1: 《人工晶体学报》2013年第2期282-285,共4页赵庆勋齐晨光贾冬梅付跃举郭建新刘保亭; 国家自然科学基金(11074063);河北省应用基础研究计划重点项目(10963525D);高等学校博士点基金(20091301110002);河北省自然科学基金(E2011201092); 采用Ni-Nb薄膜作为导电阻挡层,以La0.5Sr0.5CoO3(LSCO)为底电极,构建了LSCO/Pb(Zr0.4,Ti0.6)O3(PZT)/LSCO异质结电容器。使用X射线衍射仪和铁电测试仪对其进行结构表征和性能测试。实验发现:Ni-Nb薄膜为非晶结构,PZT薄膜结晶状况良好。L...; 关键词：Ni-Nb阻挡层 Pb(Zr0.4 Ti0.6)O3 La0.5Sr0.5CoO3