佘峻聪

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供职机构：中山大学更多>>
发文主题：冷阴极电子源场发射场致电子发射X射线源更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术文化科学理学更多>>
发文期刊：《液晶与显示》《电子器件》《真空电子技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家杰出青年科学基金更多>>
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硅微尖锥冷阴极微加工及其场发射器件物理
《真空电子技术》2022年第6期23-28,42,共7页陈阳 章易 黄一峰 佘峻聪 
国家重点研发计划项目(2021YFA1200600)。
片上集成驱动控制电极的硅微尖锥是一类重要的场致电子发射阴极(冷阴极),具有驱动电压低、集成度高、加工流程与集成电路工艺兼容的特点,在微型化真空电子器件上具有应用潜力。本文介绍片上集成硅微尖锥冷阴极关键微纳加工方法及原理,...
关键词：场致电子发射 片上集成硅尖锥 自对准微加工 杂质分凝 产生电流 热助场发射 
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