宋毅锋

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：复旦大学材料科学系更多>>
发文主题：掺杂半导体外延层杂质浓度分布更多>>
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半导体外延掺杂的深度分布——“修正的”余误差分布被引量：1
《复旦学报（自然科学版）》2008年第1期8-13,共6页杨恒青 宋毅锋 
在制造半导体器件的外延工艺中,外延生长时通常要掺入杂质.如果杂质的扩散系数很小,杂质在外延层中的深度分布是均匀的;如果杂质的扩散系数较大,半导体在外延生长过程中,杂质还有较明显的扩散,也会扩散到衬底中去.杂质浓度随深度分布不...
关键词：材料科学 半导体外延 杂质扩散 杂质浓度深度分布 
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