杨顺

作品数：1被引量：1H指数：1
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半导体片子清洗技术及设备被引量：1
《电子工业专用设备》1996年第4期1-6,共6页杨顺 
本文概述了在ＩＣ制造中，半导体片子清洗的重要性、发展历史和现状。对湿法清洗与干法清洗进行比较，并着重介绍清洗技术和设备的发展趋势。
关键词：IC 制造工艺 清洗 
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